Bei der Herstellung der Newport Freiformspiegel nutzt MKS die optische Replikationstechnologie, bei der ein Präzisionsmaster verwendet wird, um nahezu identische Kopien zu erstellen. Die qualitativ hochwertige optische Replikation ist ein ideales Herstellungsverfahren für Freiformspiegel, da sich die gesamte Technik und Messtechnik auf den Master konzentriert. Sobald ein hochwertiger Master entworfen, hergestellt und qualifiziert wurde, werden mit dem Fertigungsverfahren der optischen Replikation nahezu exakte Kopien des hochentwickelten Freiform-Masters hergestellt. Newport Replicated Freeform Mirrors haben einen Spektralbereich von 200 nm bis 15 µm und die reflektierenden Oberflächen können aus Beschichtungen aus Bare Aluminium, Bare Gold oder Protected Aluminium bestehen, so dass vielfältige Anwendungen möglich sind. Die Spiegel werden von MKS mit proprietären Messtechnologien und -verfahren optimiert, um die Oberflächeneigenschaften der Spiegel zu prüfen und die Präzision der Komponenten zu gewährleisten.

“Mit Replicated Freeform Mirrors erhalten Optikentwickler einen zusätzlichen wichtigen Freiheitsgrad beim Design fortschrittlicher optischer Systeme – quasi Optik ohne Grenzen”, erklärt Marc Tricard, Vice President of Optical Systems Business, MKS Instruments. “Newport Freiformspiegel wurden von uns schon intern genutzt, um einige erfolgreiche Systementwicklungen umzusetzen. Die Freiformspiegel von MKS basieren auf unserer langjährigen Erfahrungen in der Umsetzung und Herstellung kundenindividueller optischer Komponenten. Newport Replizierte Freiformspiegel sind eine hervorragende Erweiterung unserer Initiative für Weltklasse Optiken.“

MKS arbeitet mit Kunden auf Applikations- und Systemebene, um kundenindividuelle Freiformspiegel zu entwickeln, die alle Anforderungen erfüllen oder übertreffen. Die replizierten Freiformspiegel werden anschließend als Einzelkomponenten oder als Teil eines optischen Subsystems geliefert.

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