Mit einer Auflösung von < 30 Pikometer erreichen die Messwerte des innovativen interferoMETER von Micro-Epsilon ein neues Präzisionslevel in der optischen Messtechnik. Je nach Anwendung stehen drei verschiedene Ausführungen zur Verfügung: das IMS5400-DS für hochpräzise und industrielle Abstandsmessungen, das IMS5400-TH für genaue Dickenmessungen und das IMS5600-DS mit vakuumtauglicher Ausführung für Abstandsmessungen in Sub-Nanometer-Genauigkeit.

Das hochgenaue IMS5400-TH wird zur Dickenmessung von dünnen transparenten Materialien eingesetzt. Die Messung erfolgt mit nur einem Sensor unabhängig vom Abstand zum Messobjekt, wodurch Flattern oder Positionierunregelmäßigkeiten ignoriert werden können. Dank der nah-infraroten Lichtquelle können auch Dickenmessungen von anti-reflexbeschichtetem Glas durchgeführt werden.

Das  IMS5400-DS wird zur industriellen Abstandsmessung eingesetzt. Das Messsystem liefert absolute Messwerte und kann beispielsweise Stufen und Kanten zuverlässig und ohne Signalverlust erfassen. Die kompakten und robusten Sensoren erlauben die Integration in beengten Bauräumen.

Und das IMS5600-DS ist für Abstandsmessungen im Reinraum und im Vakuum (bis UHV) konzipiert. Ein Sonderabgleich des Controllers ermöglicht eine Sub-Nanometer-Auflösung, die beispielsweise bei der Wafer-Ausrichtung oder bei der Stagepositionierung erforderlich ist.

Die interferoMETER bestehen aus einem Controller, einem Sensor und einem Lichtleiterkabel. Die Sensoren sind für industrielle Messaufgaben entwickelt worden. Daher sind sie mit robusten Metallgehäusen und hochflexiblen Kabeln ausgestattet.

Über zahlreiche analoge und digitale Schnittstellen wie Ethernet und EtherCAT ist eine einfache Anbindung möglich. Die Konfiguration erfolgt über ein benutzerfreundliches Webinterface für Inbetriebnahme und Parametrierung.